接觸式探頭：如 VAST XXT、VAST XTR gold、VAST XT gold、VAST gold等，這些探頭在保證測量精度的同時，具有高速度的特點。
光學(xué)式探頭：如 ZEISS ViScan、ZEISS DotScan、ZEISS LineScan、ZEISS FaLconEye等，這些探頭可以在無需接觸的情況下進行測量，適合在很短的時間內(nèi)進行高精度的測量。
粗糙度測量頭：如 ZEISS ROTOS，這款探頭采用模塊化設(shè)計和三軸旋轉(zhuǎn)，在進行粗糙度測量時可提供較好的精度和大的靈活。
此外，還有蔡司三坐標(biāo)CMM測量儀的接觸式掃描探頭、三坐標(biāo)測量機的三坐標(biāo)探頭座等。這些不同類型的探頭可以滿足不同的測量需求，適用于各種行業(yè)和領(lǐng)域。